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81.
绿色环保化学机械抛光液的研究进展   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
原子级加工制造是实现半导体晶圆原子尺度超光滑表面的有效途径.作为大尺寸高精密功能材料的原子级表面制造的重要加工手段之一,化学机械抛光(chemical mechanical polishing,CMP)凭借化学腐蚀和机械磨削的耦合协同作用,成为实现先进材料或器件超光滑无损伤表面平坦化加工的关键技术,在航空、航天、微电子等众多领域得到了广泛应用.然而,为了实现原子层级超滑表面的制备,CMP工艺中常采用的化学腐蚀和机械磨削方法需要使用具有强烈腐蚀性和高毒性的危险化学品,对生态系统产生了不可逆转的危害.因此,本文以绿色环保高性能抛光液作为对象,对加工原子量级表面所采用的化学添加剂进行分类总结,详尽分析在CMP过程中化学添加剂对材料表面性质调制的作用机理,为在原子级尺度下改善表面性质提供可参考的依据.最后,提出了CMP抛光液在原子级加工研究中面临的挑战,并对未来抛光液发展方向作出了展望,这对原子尺度表面精度的进一步提升具有深远的现实意义.  相似文献   
82.
利用主成分分析法将婴儿乳粉的近红外光谱数据与必需脂肪酸含量建立校正模型,并采用交互验证和外部检验两种方式来考察模型的可靠性。得到模型校正相关系数(R2)0.8704,均方估计残差(RMSEC)和交互校验均方残差(RMSECV)分别为0.6275和0.8907,应用所建立的必需脂肪酸近红外模型对婴儿乳粉必需脂肪酸含量进行预测,并将预测值和化学测量值进行配对t检验,结果表明两者无显著差异。  相似文献   
83.
计算了4种α-取代丙酸酯衍生物在β-环糊精衍生物气相色谱固定相上手性分离过程中的热力学参数,对手性拆分机理进行了探讨。实验结果显示随着温度的升高,样品的容量因子、手性选择因子和分离度都在逐渐降低。热力学参数表明,4种α-取代丙酸酯在固定相上的色谱保留及手性识别都为焓驱动过程,氢键力没有在手性识别中起到决定作用,而样品的母体结构和取代基团的性质则对手性识别有较大的影响。样品在固定相上的手性分离效率的驱动力主要来自于其对映异构体与固定相之间作用力的能量差异。  相似文献   
84.
建立了婴幼儿配方乳粉中三聚氰胺、氯霉素、甲硝唑和洛硝达唑残留的高效液相色谱-串联四极杆质谱联用测定方法.样品经碱性乙腈提取,以MGⅢ-C18色谱柱(150 mm× 2.1 mm,5 μm)分离,流动相为60 mmol/L乙酸铵溶液(含0.4‰甲酸)和甲醇,梯度洗脱,流速为0.25 mL/min.采用多反应监测正离子或负离子模式,可以同时对婴幼儿配方乳粉中的三聚氰胺、氯霉素、甲硝唑和洛硝达唑进行快速定性和定量测定.在优化条件下,4种化合物检出限为0.3 ~ 50.0μg/kg,方法回收率为61.4% ~ 96.2%,相对标准偏差(RSD)为1.8% ~9.8%.采用本方法测定了多种市售婴幼儿配方奶粉.本方法操作简单、测定结果准确,可用于婴幼儿配方奶粉中三聚氰胺、氯霉素、甲硝唑和洛硝达唑残留的同时快速测定.  相似文献   
85.
Zhao-Rui Li 《中国物理 B》2021,30(8):80502-080502
To address the problem that it is difficult to detect an intermediate frequency (IF) signal at the receiving end of a communication system under extremely low signal-to-noise ratio (SNR) conditions, we propose a stochastic resonance (SR)-enhanced sine-signal detection method based on the sign function. By analyzing the SR mechanism of the sine signal and combining it with the characteristics of a dual-sequence frequency-hopping (DSFH) receiver, a periodic stationary solution of the Fokker-Planck equation (FPE) with a time parameter is obtained. The extreme point of the sine signal is selected as the decision time, and the force law of the electromagnetic particles is analyzed. A receiving structure based on the sign function is proposed to maximize the output difference of the system, and the value condition of the sign function is determined. In order to further improve the detection performance, in combination with the central-limit theorem, the sampling points are averaged N times, and the signal-detection problem is transformed into a hypothesis-testing problem under a Gaussian distribution. The theoretical analysis and simulation experiment results confirm that when N is 100 and the SNR is greater than 20 dB, the bit-error ratio (BER) is less than 1.5×10-2 under conditions in which the signal conforms to the optimal SR parameters.  相似文献   
86.
研究了惰性气体-红外光谱法测定镨钕镝合金中的氧,采用石墨套坩埚和高纯镍篮,在4500W的分析功率下,对0.1g实际样品进行分析,取得了满意的效果。实验结果表明,样品释放完全,测定结果相对标准偏差(RSD,n=5)为1.9%,以GSBH40104—1996标准样品(ω(O)/%=0.00943)进行加标回收实验,回收率测量结果为95%~108%。  相似文献   
87.
This paper presents a multi-functional all-optical device performs simultaneous chromatic dispersion (CD) monitoring, extinction ratio (ER) improvement and tunable wavelength conversion using four-wave mixing (FWM) in a single piece of highly nonlinear optical fiber (HNLF). The multi-functional ability arises from the nonlinear power transfer function (PTF) between the input signal and the output idler wave, which not only maps the CD information of the signal onto the average power of idler wave, but also transfers the data information to the idler wave with ER enhancement, making the device compact and cost effective. Furthermore within the wavelength tuning range the monitoring sensitivity and output ER can be much higher compared to all optical monitors and regenerators proposed before. Numerical simulations are then used to demonstrate the efficiency of this method.  相似文献   
88.
Based on random fractional Fourier transform (RFrFT), a novel adaptive watermarking algorithm using fractal dimension is proposed. Under fractal dimension, this algorithm is adaptive in the embedding position and the embedding intensity. The robustness and the imperceptibility of the watermarking algorithm are in good balance when block selection, high amplitude selection and amplitude shift keying are employed in this algorithm. Numerical simulation results have demonstrated the effectiveness of the proposed scheme and shown the robustness against attacks of noising, cropping and JPEG compression.  相似文献   
89.
基于多光谱遥感成像链模型的系统信噪比分析   总被引:1,自引:1,他引:0  
付强  相里斌  景娟娟 《光学学报》2012,32(2):211001-105
信噪比(SNR)是评价多光谱遥感成像性能的重要指标,在设计多光谱遥感成像仪的最初阶段应进行分析,从而确定各分系统相关参数。多光谱遥感系统的成像链模型综合考虑辐射源、地物光谱反射、大气辐射传输、光学系统成像、分光元件特性、探测器光谱响应和相机噪声等各个环节,可用于进行成像过程端对端的完整分析。以基于滤光片阵列的多光谱遥感系统为例,采用MODTRAN软件进行大气辐射传输计算,对不同太阳天顶角下,不同目标地物计算像面的照度,根据电荷耦合器件探测器的噪声模型,计算出不同工作条件下多光谱遥感系统的SNR。通过对SNR的分析,可给出该类型多光谱遥感系统获得最佳性能的工作条件,并能够结合使用要求进行光学系统参数的优化选择。  相似文献   
90.
孟广为  李敬宏  裴文兵  张维岩 《物理学报》2012,61(4):43201-043201
等离子体中辐射能量密度与物质能量密度的比值是区分等离子体原子过程性质的重要参量. 根据这个参量, 等离子体中的原子过程可分为碰撞占优和辐射占优两种典型类型. 数值模拟发现碰撞占优和辐射占优的原子过程有不同的性质: 碰撞占优的等离子体能够很快达到LTE状态; 辐射占优等离子体的束缚电子温度、电离度和自由电子温度存在不同的弛豫时间尺度, 存在某种形式的准平衡状态.  相似文献   
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